浅谈振镜扫描平场聚焦精细加工振镜镜片选择
振镜扫描平场聚焦加工原理 振镜扫描平场聚焦加工方式,平场扫描聚焦镜对光束进行聚焦后,激光焦点在平场扫描聚焦镜焦平面上的移动距离与平场扫描聚焦镜焦距成正比,与平场扫描聚焦镜入口光束和平场扫描聚焦镜光轴夹角或者夹角的变化值成正比,一旦平场扫描聚焦镜选定,平场扫描聚焦镜焦距就确定,那么激光焦点在平场扫描聚焦镜焦平面上的移动距离理论上只与平场扫描聚焦镜入口光束和平场扫描聚焦镜光轴夹角或者夹角变化值成正比。 振镜扫描平场聚焦超精细加工思路 振镜扫描平场聚焦高速超精细加工思路,传统思路有两个。 第一,减少振镜镜片大小,从而减少振镜镜片的摆动惯量。这种思路,由于振镜镜片不能承受太大扩束光束,因此,要获得精细的激光扫描光斑,必须配置短焦距小幅面的平场镜,其缺点就是扫描幅面大大缩小。 第二,振镜的光学反射镜越轻越好,采用铍镜片,应注意以下几个问题: 首先,该材料为剧毒,每一立方米的空气中只要有一毫克铍的粉尘,就会使人染上急性肺炎——铍肺病。离子状态的金属元素危害性最大,铍离子易于被人体吸收,能与血液和淋巴液体蛋白质结合,影响免疫系统和内分泌系统。氟化铍和氧化铍是导致急性铍中毒的物质。(网上搜索资料)。 其次,已经有多个实际案例表明铍镜片表面镀膜很容易损伤,且铍处于激光光路中,被激光破坏概率大。下图为紫外激光器扩束以后用于挡光的发黑铝板,一般十几分钟到半小时就会打出一个白点,可以想象,虽然铍熔点比较高,但是铍在紫外激光照射下蒸发的概率几乎100%,因此把铍置于激光光路里面绝对不是明智之举。 另一个案例是,采用激光在玻璃表面扫描一次,可以用3D显微镜扫描,发现玻璃被激光“啃”下去几百纳米深度。 可见,物质在激光照射下发生辐射蒸发的概率很绝对存在的。激光等离子体光谱技术也是基于这一原理进行的。 [...]
